元素分析儀可以迅速定性，元素定性方面無人能比，像紅外在有機官能團定性一樣迅速。XRF是檢測物質中各種氧化物和元素的含量，以及成分分析。XRF不但在元素定性上有ICP的優點，同時在定量上同樣可以和任何一種元素分析儀器相媲美。
元素分析儀作為精密元素分析儀器，功能十分強大，測試范圍從Na(11)到U(92)，其被廣泛應用于工業、航天、環保、農業等領域。XRF元素分析儀具有諸多優點，包括操作便捷、樣品無損檢測、測試樣品可以是任何形狀等等。
日常使用中，XRF分析儀在分析元素時，經常會出現同一個樣品檢測的精度不一樣的現象，多數操作者多一位是儀器出現故障。其實不然，那么XRF這款精度儀器在使用過程中，會受到那些因素的影響而導致結果出現偏差。
1、材質
不同的物質結果不一致，那是肯定的就算同是合金材料也分鐵、鋁、鎂等不同元素組成。
2、厚度
分析儀，有個很明顯的特點，就是對樣品的厚度有一定限制，特別是很多合金樣品可能會在材料商涂層銅、金屬、塑膠，這個時候檢測材質需要對樣品的表層進行處理，才能保證檢測結果的精確。
3、時間
一般來說，檢測的時間越長，精度就越精確，ROHS分析儀30~600秒；合金分析儀10~60秒；礦石分析儀：30~90秒。
4、粒度
被檢測的樣品越小越好，樣品大小和儀器的顯示屏差距不大是好，如果檢測樣品過于龐大，比較容易出現樣品元素組成不一樣，導致元素的含量與成分結果就不一樣。
5、均質
樣品一定要均勻，盡量不要出現凹凸不平，凹凸的樣品很容易出現偏差。樣品好額平面放在某處。
